ICP光譜儀即電感耦合等離子體光譜儀，ICP發射光譜法是根據處于激發態的待測元素原子回到基態時發射的特征譜線對待測元素進行分析的方法。ICP發射光譜儀主要應用于無機元素的定性及定量分析。
ICP光譜儀具有以下優點：
1.多元素同時檢出能力。
2.分析速度快。
3.選擇性好。
4.檢出限低。
5.準確度高。
6.樣品消耗少。
ICP光譜儀使用的注意事項：
1） 操作此儀器的人員，必須先培訓合格才能使用此儀器，否則責任自負。
2） 矩管、感應線圈、霧化室、霧化器、泵軟管、等離子體監視光導體的清潔和安裝工作，嚴格按照維護手冊進行操作，以免損壞部件。
3） 排氣管的抽風速度小于200 L/min時，要清潔排氣管道的過慮網、空氣過慮網或更換空氣過慮器。
4） 測量完成后，用適當的空白液或蒸餾水清洗和空燒進樣系統，避免在進樣系統中發生結晶。
5） 滅火后2分鐘，才能關閉風、水、氣、電。
6） 做完實驗后請做好儀器使用記錄本的登記。
